第340章 美滋滋的配套單位

東北光學所,接到了一個光路系統的研製要求,要求的發起方,來自十二機部,至於是做什麼用的,並沒有說明。

要求非常貼心的分爲了兩級,實現過程也就分成了兩步。

第一步,是將波長355nm的激光束擴散爲直徑160mm的平行光束。

第二步,是將這束擴散後的平行光束,將光路中的玻璃板上圖像重新縮微投影爲一個20mm的光斑。要求縮微投影后,圖形變形不超過5微米,越小越好。

這個要求說簡單那不簡單,說麻煩嘛,好像也不是非常麻煩,正好卡在好像努力一下就能夠的着的程度。

對於搞技術的人來說,這種要求是最舒服的,既不會沒有挑戰性和成就感,又不會要求太高難以實現。

而且對方明確說了,分兩步實施,第一步做出來就先提交第一步,第一步儘量快,第二步可以慢慢做,但是質量一定要穩。

還能分步提交成果,這就更舒服了。

甚至對方還非常貼心的,送了一臺激光器過來,正是355nm激光光源。

這個不是紅寶石激光器,本來是高振東爲激光測距準備的YAG(釔鋁石榴石)激光器,這東西功率比較容易做大,而且波長根據摻雜可調。

這正是高振東和1274廠集成電路工藝研究中的一部分,這個東西一看就知道,用於光刻機的光路系統。

把整個光路系統分成兩步,正是高振東的主意。

第一步,相對簡單一些,可以用於接觸式或者接近式光刻機,這兩個都是直接投影的,模版的分辨率多少,實際分辨率大約就是多少。

而第二步困難一些,等東北光學所慢慢搞就行,這是預想用於投影式光刻機的,搞個一年兩年三年的都不是什麼問題,搞不出來,接近式光刻機也夠用了,搞出來了,那就純賺了。

與此同時,某化學研究所,搞有機材料的同志也接到了十二機部關於光敏材料的研究要求,研究要求明確指明瞭,光敏材料可以是光聚合型、光分解型、光交聯型中的一種,用於激光感光成像,工作光波長355nm。

十二機部還送來了一臺激光器,以及簡單的激光擴散配件,用作試驗過程中的光源。

說實話,研究所的同志,還是第一次看到要求這麼明確,連技術路線都給說得明明白白的要求文件。

甚至光交聯型這種,他們也是看了要求文件裡面的解釋才搞清楚是個怎麼回事兒。

要是所有的需求方都像這一家這樣就好了,化學研究所的同志美滋滋的想,還能學東西!

其實這是高振東沒辦法,他不知道現在到底哪一種能搞成,總之65年這東西是有的,乾脆把幾種常見的光刻膠的路線都給寫了上去,你做出來哪種算哪種,無非就是正膠負膠的區別,都能用。

一個技術剛興起的時候,自由度是最大的,不用考慮太細節的東西,而且配套技術不用考慮技術路線的差別帶來的性能差異,因爲要求還沒高到那份上,大概就是能用就行,整出來就算本事。

像日後光刻技術那一大堆高級技術在這個年代都不用考慮,根本用不上,也沒條件用上。

搞個10微米~100微米的光刻,就想着把浸潤光刻、多重曝光、EUV光源這些弄上來無疑是吃飽了撐着了。

且不說這些美滋滋的配套廠所,高振東自己,正在和廠裡的一堆八級工研究工件臺的事情,雖然不搞多重曝光,但是套刻還是需要的,工件臺的定位精度還是要考慮。

套刻,就是把多個圖形分多次刻到同一工件上,形成一個完整的圖形。

如果只是刻一次,那倒不需要管套刻精度,只要保證光的投射範圍都在晶圓上以及光投影精度即可,可是在集成電路工藝裡,是要分很多次光刻,來形成不同結構,而且這些結構之間又有電路連接,所以套刻精度還是要保證的。

至於雙工件臺,就先扔一邊了,一個工件臺還沒搞利索呢,想那麼多是給自己找麻煩。

“高總,你這個東西的定位精度要半絲?”一羣老八級工有點嘬牙。

1絲,從機加工的角度,等於10微米,半絲,5微米。

高振東點點頭:“嗯,先不考慮移動定位精度,就考慮兩個工件固定時定位的相對精度就可以。”

如果微縮投影還沒搞通的話,那移動定位精度就意義不大,因爲不需要在晶圓上一個芯片一個芯片的刻,而是一次性投影出整個晶圓的圖像,這種情況下,哪怕套刻,主要考慮的也就是模版、晶圓固定時的相對位置精度了。

之所以一開始都是搞的接觸式或者接近式光刻機,這就是原因,技術簡單得多啊。

幾位老師傅,包括易中海在內,放下了大半的心,這個就好辦多了。

高振東把整個光刻機機械部分的要求發給他們,並給他們一一解釋,光刻機可不只前面那麼一點東西,比如光刻膠的塗覆、無塵環境的生成等等

其實早期的光刻機,看起來像個化學實驗室的通風櫥櫃似的,而且還帶顯微鏡,用於人工調整觀察,又像一個生物上用的玩意,反正就是不像個工業上用的機器,完全沒有後來看起來那麼高大上。

聽了高振東的要求,所有的老師傅覺得這還是有門兒的,問題不大,領了任務就去工作了,這些老師傅,有的是三分廠的,有的是從其他車間臨時借來幫忙的,不管哪兒來的,反正這段時間都要在三分廠的研究場地裡幹活了。

至於其他部分工藝,都交給1274廠了,他們那邊條件成熟,好歹還是專業半導體廠嘛。

與此同時,保衛處長正在和劉海中談話,劉海中雖然也是老鍛工了,可是離八級還有距離,也夠不上摻合三分廠的特殊項目,至於生產,他不是三分廠的人就更說不上了。

保衛處長找他談話,是有好事情找他,至少在他看來是這樣。

“劉師傅,你是廠裡的老同志,從你一貫表現來看,對於我們的保衛和安全工作,是非常上心、非常積極的”

保衛處張處長上來就先把劉海中猛誇了一通,聽得劉海中是無比的舒坦,心思禁不住有些活泛起來。

老劉我,這是要時來運轉了?領導終於看到我的努力了?願意給我機會,給我加擔子了?

就在他浮想聯翩,美夢連連的時候,果然就聽到了天籟之音。

“.你的表現,廠裡也都是看在眼裡,記在心裡的,所以,現在有個擔子,想看看你願不願意挑一挑?”

一通誇獎之後,張處長總算是說出這次叫他過來的原因了,把劉海中急得不行。

擔子?挑一挑?

說到這個,劉海中可就不困了,腦袋裡如一聲炸雷響過,我就說嘛,我的努力和態度,總之是不會被領導們忽略的嘛。

他的文化,也想不出諸如“明珠蒙塵”、“懷才不遇”之類的話,總之就是想得挺樸實。

有擔子是吧,還沒聽是什麼呢,劉海中已經忙不迭的點頭:“我願意,我願意,請組織和羣衆考驗我。”

這種話他在收音機裡聽了不少,順口就說出來了。

張處長皺了皺眉:“劉師傅,別急別急,你暫時還不是組織的人,用不着組織考驗。”

早就聽說這個劉海中有點想進步想昏了頭,如今看來果然有點兒不太正常。

“哦哦哦,那請廠裡儘管給我壓擔子,我絕不皺眉。”擔子越重,不就意味着位置越高嘛。

不至於不至於,張處長心裡想着,嘴裡說着:“是這樣,我們廠的生產任務和生產的產品,是越來越重要了,爲了生產工作的安全進行,廠裡決定加大保衛巡邏的力度。這麼一來,光靠我們保衛處和民兵隊的力量,就有點不夠了。廠裡希望從老同志裡面,挑選一批,新老結合,以老帶新,補充一下巡邏力量。不過先說好啊,這個事情是沒有額外的工資的,只是保留你原來的工資。”

這是要進保衛處了?劉海中心裡憧憬起來。工資算什麼?我還缺工資麼?好歹也是高級技工了不是,不缺這點兒。

這年頭的保衛處,那權責範圍可不是一般的大,尤其是三軋廠這種大廠,威風着呢。

“根據劉師傅伱平時的表現,所以在這一次裡是優先考慮的對象,保衛處希望你能作爲巡邏組長,帶領兩位年輕同志,利用工作之餘的時間,爲廠裡的保衛工作貢獻一下力量,劉師傅你看如何啊?當然,這個是全憑自願,不會強求的,這種巡邏組,會成立一批,如果你不願意也不會影響工作。”

劉海中一聽,陷入了兩難。

要幹吧,合着這是個兼的,自己正經工作還得做。

要說不幹吧,好歹是個組長,領着兩個人呢,沒準這就是自己官路的第一步?過了這個村,也許就沒有這個店了。

正當劉海中搖擺不定時,張處長在他心中的稻草上壓上了最後一匹駱駝。

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