第1631章 這技術我真沒見過
壽榮昌深吸一口氣，努力讓自己的聲音顯得渾厚。
但因爲面罩的緣故，反而有些沉悶：
“開箱！”
兩名早已準備好的SMEE工程師，一臉嚴肅地走到貨櫃前。
他們各自手持一把造型奇特的銀色鑰匙，並分別將其插入位於貨櫃上下兩端的兩個鎖孔。
兩人默契地同時開始倒數：
“三……二……一……開！”
兩柄鑰匙幾乎同時轉過90°、
貨櫃正面，一盞醒目的紅燈瞬間跳轉爲穩定的綠燈！
“滴滴！”電子鎖解除的提示音短促而清晰。
緊接着，一陣輕微的液壓泄氣聲傳來。厚重的雙層合金櫃門，沿着精密的滑軌，緩緩地、平穩地向兩側無聲滑開。
一層厚厚的、透明度極高的鋼化玻璃護罩顯露出來。
透過玻璃，可以清晰地看到被多層柔性防震材料牢牢包裹、固定在特製支架上的核心——
那套傳說中的“全新物鏡系統”模組。
模組整體呈圓柱形，體積比衆人想象中要緊湊得多。
雖然鏡片表面全都覆蓋着黑色的遮光保護罩，但大致輪廓和鏡片分佈清晰可見。
“咦？”
跟在張汝寧身後的範洪傑忍不住發出一聲低低的驚呼，在極度安靜的車間裡顯得格外清晰。
他立刻意識到失態，有些尷尬地扶了扶護目鏡，解釋道：“抱歉……我是說，這模組的集成度……在DUV系統裡，我至少有十來年沒見過了！”
十幾年前，DUV光源纔剛剛引入光刻系統。
模組簡單，是因爲性能相對較低。
但現在拿出這麼個緊湊的系統，顯然是另一回事。
“別急。”張汝寧回頭看了他一眼神秘地笑了笑，“更讓你震驚的，還在後面呢。”
語畢，他和壽榮昌二人親自上前，小心翼翼地一齊發力將巨大的護罩緩緩移開。
緊接着，幾名穿着潔淨服、戴着特製手套的工程師上前，在張汝寧的親自指導下，極其謹慎地解除了模組的固定裝置，然後合力將其沿着精密滑軌，平穩地轉移到旁邊一個特製的光學裝配平臺上。
當模組穩穩落位後，最關鍵的時刻到了。
又是兩名工程師上前，用特製的工具，極其輕柔、精確地，逐一取下了覆蓋在每一個鏡片組上的黑色遮光保護罩。
物鏡組的真容，終於毫無保留地展現在所有人眼前！
銀灰色的精密金屬鏡筒內，十四個大小不一、形狀各異的鏡片組按照特定的順序排列組合，鏡片邊緣在無影燈的照射下閃爍着獨特的光澤。
“這……”孔學武雙眼猛地瞪圓，下意識地往前湊了一步，有些難以置信地嘟囔着，“這……這光路結構……怎麼看着像個……復古的純折射式物鏡組？”
要知道，從三代之前的ArF-850開始，長光集團就放棄了純折射模組，轉而引入折反式系統。
壽榮昌也眉頭緊鎖，繞着裝配平臺走了一圈，手指在虛空中比劃着。
他作爲整機集成專家，對光路極其敏感。
“奇怪……”壽榮昌的語氣中充滿困惑，“我好像有點看不懂這個鏡頭組的光線通路……”
說完，他後退幾步，又比劃了兩下。
還是得到了一樣的結果：
“無論假設光源從1號鏡（最上方的凸透鏡）還是2號鏡的位置入射，按照這些鏡片的曲率和棱鏡角度，光線似乎都無法有效匯聚到底鏡上……反而感覺會從側面，比如5號或者7號棱鏡的位置，直接折射或者反射出去？”
他看向張汝寧和慄亞波，試圖尋求答案。
但並沒有馬上得到迴應。
就在衆人被這奇特結構吸引，低聲討論，充滿疑惑之際，張汝寧移步到裝配平臺旁邊一臺懸掛的大尺寸觸控顯示屏前。 他伸出戴着無塵手套的手指，輕點兩下喚醒屏幕然後迅速輸入了一長串複雜的動態密鑰。
屏幕亮起，瞬間切換到一個高度複雜、標註詳盡的三維光路設計圖界面。
張汝寧轉過身，面向衆人。
剛剛還在低聲討論的壽榮昌、範洪傑、孔學武等人瞬間噤聲。
整個超淨車間裡，只剩下空氣循環系統的低鳴，以及二十幾道凝聚着震驚、好奇與求知慾的目光，齊刷刷地聚焦在那塊大屏幕上。
只有少數幾名跟隨張汝寧全程參與研發和測試的長光及火炬核心成員除外，
他們臉上露出瞭然於胸的會心笑容，饒有興致地等待着同事們接下來的精彩反應。
“各位，”張汝寧的聲音透過口罩，清晰而沉穩，“這就是我們‘全新ArF-1800物鏡系統’的核心設計。”
他指向屏幕中央複雜的光路圖：“首先，大家最關心的光路問題。”
光路圖被高亮，一條虛擬的、代表193nm DUV激光束的紫色線條開始沿着預設路徑動態延伸。
“光源，從這裡，1號凸透鏡上方特定角度入射。”光點精確地落在1號鏡上。
“然後，光線會依次經過這裡、這裡……”代表光路的紫色輔助線快速在幾個鏡片間跳躍，“注意看這裡，5號棱鏡！還有這裡，7號棱鏡！光線在它們表面，並非單一地折射或反射……”
隨着他的講解屏幕上5號和7號棱鏡的位置被放大、高亮。
然而，兩股光束在接觸到棱鏡表面時，竟然詭異地走向了兩個方向！
一股清晰地沿着折射路徑穿透棱鏡繼續前進，而另一股則沿着反射路徑改變了90度方向！
“這……這怎麼可能？！”範洪傑心中狂震，差點喊出聲。
他死死盯着屏幕，感覺腦子有點發鈍：
一個光學元件，怎麼可能同時承載折射和反射功能？
在物鏡系統內，折射元件表面的反射效應是主要干擾之一，要儘可能消除的。
但張汝寧卻沒有停頓，繼續引導光路前進：“……經過16次折射和4次關鍵反射後，最終，光線會在這裡——底鏡，被完美匯聚！”
光點最終精準地聚焦在代表硅片平面的目標點上。
很快，範洪傑就意識到，問題不只出在那兩處。
通過3號和12號鏡片的折射光路走向也非常奇怪，看上去就好像把把鏡面輪廓給畫錯了一樣……
他強壓下立刻提問的衝動，只是把關鍵疑點記在腦子裡，準備事後細問。
然而，張汝寧的解釋反而更快一步。
“好，光路清楚了。”他的語氣變得無比嚴肅，“現在強調安裝和調試的核心關鍵點！”
“整個物鏡組的核心，是這四塊鏡片！”指尖依次點中3號透鏡、5號棱鏡、7號棱鏡、12號透鏡，它們在屏幕上閃爍着醒目的高亮輪廓線。
“它們由一種革命性負折射材料製成。”張汝寧語氣平淡地吐出了一個石破天驚的名詞，“其中3號和12號透鏡的主要功能是消除系統色差，確保成像清晰度。”
“而5號和7號棱鏡，”張汝寧繼續介紹，“利用負折射材料的特殊光學性質，同時發揮折射和反射功能，避免垂直入射的光線被其它元件遮擋……”
“……”
他環視全場：
“正因如此，這套物鏡組在安裝、定位和校準過程中，其基準點設置，與我們之前的ArF-1500系統完全不同，不再是傳統的1號鏡、中間鏡、底鏡三點校準！”
屏幕上，四個紅色三角精確地標定在3號透鏡、7號棱鏡、12號透鏡以及底鏡的位置上。
“而是3號、7號、12號、底鏡，四基準點校準！其定位精度要求和相互關聯的複雜程度，遠超以往任何型號，這也是爲什麼必須由我們最精銳的原班人馬親自操刀，SMEE和華芯的同志密切配合……”
“……”
實際上，後面這部分內容，張汝寧大概率要再說一遍了。
因爲當“負折射材料”五個字從他口中吐出的瞬間，大部分人就已經進入了呆若木雞的狀態。
尤其範洪傑，更是瞬間明白了什麼叫“更讓你震驚的在後面”。
好嘛！
這技術，我是真沒見過……
(本章完)