在南方光學裡,徐申學看到了他們的先進第五代COMS傳感器的產線,同時也看到了他們還在實驗室裡的第六代COMS傳感器的樣品。
當然更重要的還是看了他們的光刻機鏡片生產線!
這個光刻機鏡片的生產線,和常規工業產品的廠房是有巨大差異的。
徐申學所看到的是更像是實驗室一樣的生產車間,裡頭有着大量的頂級的設備,並且整個生產環境都是屬於高度無塵環境。
南方光學的負責人解釋道:“車間裡生產的是EUV光刻機使用的鏡片,其平面精度非常高,空氣裡隨便一粒灰塵落在上面,都意味着超高精度的鏡片上出現了一座‘大山’,爲了製造這種鏡片,必須在超潔無塵環境下進行!”
“現在這個車間生產的鏡片,是用於HEUV-300B光刻機的主鏡片,鏡面直徑達到一米,但是表面粗糙度只有三十五皮米,而面精度,即峰值與谷值的差值只有0.15納米。”
“也只有這種平整度的鏡片,才能夠鏡收集極紫外光光源,最後產生穩定的13.5納米的極紫外光光束用於曝光生產!”
“爲了達到這種超高精度,我們在材料上使用了總公司材料研究院研發的XHJ14鉬/硅複合材料,足以反射極紫外光不吸收,同時在加工上,我們通過採用離子束拋光爲主,再輔以磁流變拋光等多種拋光技術,通過多種不同的拋光工藝相互結合,逐步平整鏡片,最後達到了設計要求!”
“這位是我們南江科技的副總經理兼光刻機鏡片事業部總經理,我司首席科學家曹星辰曹教授,之前的DUV鏡片以及現在的EUV鏡片,都是他帶着團隊做出來的!”
徐申學看着前方這個小老頭,臉上帶着熱誠的笑容上前握住了曹教授的手:“多虧曹教授的多年辛苦,這才能夠搞出來至關重要的光刻機鏡片,才能夠打破國外的光刻機封鎖,國內半導體事業的蓬勃發展,曹教授居功至偉啊!”
曹星辰教授也是一臉的笑容:“哪裡,哪裡,我也只是做了分內事,而且真說到技術方面,其實我也只是個不太懂的老古董,以前搞個DUV光刻機的鏡片還湊合,而到了EUV鏡片這一階段裡,其實我也就是掛個名,主要的技術工作還是我們的年輕人做的!”
說着,他稍微側身,把他身後的一個約莫三十幾歲的男子稍微拉出來:“這位是錢大同教授,也是我的學生,他擔任我們EUV鏡片團隊的總工程師,小錢可是我們光學領域的頂級天才,別看着他年輕,但是其技術在國內首屈一指,哪怕是放在全球範圍我估計着都能進入前五之列了!”
“現在啊,是年輕人的時代了!”
曹星辰看着身旁這個禿頂的錢大同,臉上露出滿意的笑容……他自詡這輩子已經算是值了。
早些年帶着團隊做出來了DUV光刻機的鏡片,這是他人生里科研領域的最大成就!
其次,他培養了一個好學生錢大同,從本科階段就一直帶着他,一直帶到博士畢業,博士畢業後繼續帶着一起做光刻機的鏡片。
等到了EUV光刻機鏡片研發的時候,曹星辰自感思維能力已經跟不上了自己的這個學生了,他這個學生是個真正的天才,以前讀書的時候就已經非常突出了,而等到跟着他一起入職南方光學搞光刻機鏡片後,才華天賦更是肉眼可見!
最後他一咬牙就讓錢大同接替自己,擔任了EUV鏡片項目的總工程師並實際負責EUV鏡片的研發工作。
而錢大同也沒有辜負他的期望,愣是帶着團隊花費了幾年時間把EUV鏡片給搞出來了,向世人證明了他在光學領域裡的天賦和努力!
爲國家和民族培養出來了這樣一個世界頂級,甚至還有潛力繼續成長的錢大同,曹星辰自詡是他的人生第二大成就!
所以在徐申學來視察的時候,曹星辰也是舉賢不避親,直接把自己的學生錢大同拉出來進行介紹!
倒也不是爲了錢財之類的,技術研發工作做到他們這個程度,他自己也好,學生錢大同也好都是不差錢了,但是想要進行更高層次的科研研發,這科研環境以及經費支持則是越來越高。
如果能夠讓徐申學重視,甚至高看一眼的話,那麼對他這個學生未來的科研道路會有很大的幫助……做科研的,誰不想和仙女山控股材料研究院裡的那位王斌耀教授一樣!
科研經費沒上限,誰不想做點啥都有整個集團背後進行支持啊!
做夢都想啊!
他曹星辰雖然資歷雄厚,但是年紀大了,技術能力還真的跟不上現在的前沿技術了,撐死了也就只能說國內一流,就算臉皮再厚也覺得沒希望了。
但是他的學生錢大同還是有點希望的……
他認爲自己的這個學生,在光學領域裡的科研能力,在全球至少也能進入前五,屬於國際超一流水準。
雖然他也知道自己可能是愛屋及烏,高估了自己學生的真正水平,但是就算再差,那也得是全球前十以內吧?
不可能再差了!
全球那麼多從事光學領域研究的科學家,有幾個能夠帶着團隊做出來EUV鏡片啊?
沒幾個!
而錢大同則是屬於少數幾個之一!
這樣的學生,還是有點希望能夠獲得徐申學的高度重視,進而獲得科研人員夢寐以求的科研環境:科研經費不設上限,想要幹啥就幹啥!
徐申學對曹星辰這個老一輩的科學家還是非常重視的,當年羅毅年給仙女山控股挖人組建光學團隊的時候,可是把國內的光學領域的可供選擇的頂級人才都考察了個遍。
最後,羅毅年選擇了曹星辰這個老一輩的科學家來帶隊!
曹星辰也的確很有實力,帶着團隊持續攻克了諸多技術難題,搞出來了DUV光刻機所用的鏡片,徐申學對他也是比較瞭解。
而曹星辰的學生錢大同,說實話徐申學就知道的不多了,暗地裡翻看了科研系統的科研名額名單後,發現這個錢大同被授予了個A級別的科研名額。
這用了個A級別的科研名額,就做出來了EUV光刻機用的鏡片,這人還真是個人才!
如果給他一個S級別的科研名額,豈不是能夠做的更出色,回頭搞出來更牛逼的鏡片?
徐申學當即帶着笑容和錢大同打招呼說話,只不過這個錢大同似乎有些靦腆,或者不擅交際,面對徐申學都比較緊張,說話都不利索……
徐申學也不在乎!
他對真正有才華的技術人員一向來都是屬於非常尊重的,頂級的科研人才從不會在徐申學面前感受到他身居高位的那種距離感。
徐申學在這些頂級人才面前,一直都是保持着很和善乃至熱情的一面的。
簡單交流之後,徐申學親自動手給了他一個S級別的科研名額。
他手頭上的S級別科研名額現在都有大幾十個,給他一個問題不大。
這兩年,徐申學雖然把大部分科研系統的成就點都給積攢起來,用來兌換SS級別的科研名額,不過每年還是會多少兌換一些S級別的科研名額的。
給錢大同一個SS級別的科研名額,這是不可能的……他還沒有體現出來足夠的價值和天賦!
百萬成就點的SS級別科研名額,現在徐申學手頭上一共只有三個,搞材料的王斌耀教授和搞數學的林安東教授,各自長期霸佔了一個。
還有一個SS級別的機動名額則是看情況給一些科學家輪流使用。
不過基本也是給那些研究最前沿的數學,物理等前沿學科的科學家輪流使用……人家玩的都是前沿基礎理論,旨在打破人類科學界目前的理論上限,開創人類科學未來的頂級人才。
錢大同,距離這個層次還差一些呢。
但是安排一個S級別的話問題不大,畢竟應用層面裡的EUV光刻機也是屬於非常重要的設備,裡頭的鏡片更是核心設備,科研名額是需要重點保障的。
S級別的科研名額已經很難的了,實際上徐申學旗下的各企業裡的很多頂級科學家們,連S級別的科研名額都沒有呢,都只能用個A級別的科研名額。
甚至很多外人眼中已經是屬於行業大佬級別,富有名望的科學家都只能混個B級別的科研名額呢。
這是因爲,徐申學的科研系統的科研名額,是優先授予給核心技術人員,管理型技術人才雖然也給,但是基本只給低級別的科研名額。
說白了高級別的科研名額,只給真正幹事的人,研發團隊裡的核心技術骨幹,而這些人其實一般中青代科學家……科研領域裡是需要靠腦子,同時也需要知識儲備以及現代視野的。
數學家裡這種情況最爲典型和突出,一個科學家最成果最多,最突出的年齡段是二十幾歲,三十多歲的時候……這個年齡段是一個數學家最巔峰的時間段,這輩子能達到什麼成就基本就看四十歲以前了。
超過四十歲之後,思維能力,學習能力等又會逐步下降,雖然還是能夠做出一些數學成果,但是從能力而言已經不如四十歲之前了。
再考慮到科學在持續進步,而人對新知識的學習接受能力等情況,基本上也就導致了科學家這個羣體裡,真正幹事的人往往是三四十歲這一羣體的人。
年齡大一些的科學家則是在積累了足夠的學術成果以及名望後,基本上都會開始轉行帶團隊,成爲一個管理型的科學家,帶着團隊搞研發以及培養中青代科學家。
當然,這並不是說管理型科學家不重要,實際上也非常重要!
這些老一輩的管理型科學家,他們有學術名望,有學術人脈,有足夠的資歷能夠鎮得住場子。
這樣他們能夠把一整個研發團隊有效的整合起來併發揮各自的才華,就和曹星辰教授一樣,你讓他自己親自搞光學領域的研究已經有點跟不上現在的前沿步伐了,但是你讓他帶一個前沿光學研發團隊,讓錢大同這種核心科學家發揮才華,那是小菜一碟。所以不管是老一輩的管理型科學家還是真正做事的中青代科學家,徐申學都非常重視……
但是這種重視體現在任職上。
科研名額則是例外!
科研名額可不管你會不會帶團隊,只看你的科研才華天賦!
所以,徐申學手中的SS級別以及S級別甚至大部分的A級別的科研名額,都是給了這些中青代的科學家們,而不是老一代,地位更高的管理型科學家。
這就導致會出現這種場面:一個研發團隊裡,帶團隊的老一輩科學家只有個A級別或B級別的科研名額,而他手底下真正幹活的中青代科學家則是有S級別的科研名額。
當然也有例外,王斌耀教授和林安東教授就是例外,他們自己也帶團隊但是也幹活,頂着SS級別的科研名額……這是因爲他們的才華肉眼可見,誰看都得說一個服字,哪怕沒什麼管理能力,但是照樣能夠鎮得住場子!
再者,他們自己管理不行,但是往往還會配幾個管理型的科學家給他們打下手,也不用他們實際操心什麼帶團隊的問題。
他們只需要專心於自己的研究領域即可,有什麼事吩咐下去,自然會有人幫他們處理妥當。
給錢大同安排上了S級別的科研名額後,徐申學問起來了南方光學的各類光刻機的鏡片產能。
作爲南方光學的副總,同時兼任整個光刻機鏡片事業部的負責人,曹星辰教授爲徐申學進行了介紹:“目前我們的產量還算是不錯的,EUV光刻機所使用的鏡片,預計今年出貨量能夠做到二十五套左右,我們也在持續提升產能,預計明年能夠把產能提升到三十五套!”
“出貨量的主力則是DUV光刻機使用的鏡片,這個出貨量比較多,去年的時候我們一共出貨一百七十套左右,今年的產能還能持續爬升,預計出貨量能夠提升到兩百二十套,等到明年的話,我們有望把出貨量提升到兩百五十套!”
“DUV光刻機使用的鏡片,在產能上我們已經能夠做到比較大的彈性空間了,具體產能則是要看海灣科技那邊的DUV光刻機的訂單。”
“如果海灣科技那邊的DUV光刻機訂單足夠多,我們加班加點的情況下,甚至能夠提供年產量四百套以上的鏡片產能。”
一旁的仙女山控股的一個分管光刻機等設備業務的副總裁則是道:“目前海灣科技的光刻機訂單,基本已經壟斷了國內的光刻機的訂單,甚至也接到了少許國外的DUV乾式光刻機的訂單。目前的訂單量已經比較飽和了!”
“而更先進的DUV浸潤式光刻機,目前我們和ASML那邊還在打專利官司,所以不能進入歐美國家的市場裡。”
“而EUV光刻機也存在專利問題,無法面向國際市場,此外就算能賣,現在的EUV光刻機也是屬於出口限制設備,每一套的出口都需要專門的審覈,所以暫時是沒辦法出口的!”
國內對半導體產業是非常重視的,尤其是人工智能時代爆發後,半導體產業的重要性得到了極致的體現。
國內最先進半導體行業的衆多核心設備以及耗材以及製造半導體設備以及耗材的設備以及相關原材料都進行了技術封鎖,想要出口的話需要單獨進行審覈!
之所以還有個可以單獨審覈的口子,那是因爲國外還有同類產品……要不然的話,連這個口子都不會有,而是直接全面禁止出口。
專利以及出口限制問題,也導致了海灣科技的先進光刻機的海外訂單是很少的,基本靠國內市場活着。
不過國外其實也沒什麼半導體設備的市場了,搞半導體在製造的企業都沒多少……上得了檯面的企業,要麼在海峽對面,要麼在韓國,然後還有一個美國,最後則是華夏這邊。
其他地方和國家的先進半導體制造產業很少的。
韓美還有海峽對面的市場,基本是ASML的天下,海灣科技旗下的DUV浸潤式光科技以及EUV光刻機受限於專利限制是進不去的……
倒是DUV乾式光刻機沒什麼專利限制,基本都是自主研發的專利,能夠全球賣,只是也要和ASML以及佳能等企業進行競爭,獲得的海外訂單也不算多。
所以整個海灣科技的光刻機訂單,是有限的,大頭是智雲微電子貢獻的,小部分則是國內的中芯等半導體企業所貢獻,只有少數纔是國外訂單。
但是即便如此,海灣科技在光刻機的出貨量上也是屬於非常大的了,已經追平了ASML甚至都有超過的跡象。
畢竟國內的半導體制造業發展迅速,對光刻機的需求量非常大。
而光刻機市場本身是非常小衆的市場,EUV光刻機的採購量一年也就那麼幾十臺,DUV浸入式光刻機多一些,但是也就一兩百臺撐死,DUV乾式光刻機多一些,估計能夠有幾百臺。
至於成熟技術的I線以及G線光刻機,這個也有幾百臺的市場,尤其是國內需求量非常大,海灣科技每年也能出貨一百多臺這種成熟技術的光刻機。
而南方光學的鏡片產銷量,是完全依靠海灣科技的。
徐申學稍微一看道:“所以說,現在的DUV光刻機的鏡片方面問題不大了,甚至還有產能空餘,而EUV的鏡片產能則是不足是吧。”
曹星辰教授道:“是這樣的。”
DUV光刻機能賣出去,要看市場需求!
而EUV光刻機能賣出去多少,則是看產能……現階段而言能生產多少就能賣出去多少,但是產能太低了,今年才那麼二十多套的產能,供應智雲微電子一家都嫌少。
智雲微電子正在大搞特搞第二代七納米以及五納米工藝,而這兩個工藝用的都是HEUV-300B光刻機,對這種光刻機的需求量非常大。
至於國內其他廠商,也就中芯那邊訂購了幾臺EUV光刻機,嘗試進軍更先進的十納米工藝甚至七納米工藝,而其他廠商的話則是沒這膽子搞更先進的七納米工藝了……
投資太大,技術難度太高,搞不來。
國內的很多半導體制造廠商,其實都還停留在四十五納米工藝節點,二十八納米工藝節點裡。
現在能夠做十四納米工藝節點的國內半導體工廠,其實也就只有智雲微電子、中芯這兩家,其他廠商都還不行呢。
其實有幾家國內的半導體廠商的硬件設備水平已經很不錯了,不少都用上了HDUV-600B這種級別的先進光刻機,這種光刻機本身就是爲了做雙重曝光而研發的,很適合用來做十四納米工藝節點的。
甚至只要技術能力牛逼的話,甚至都能和智雲微電子一樣用這種光刻機做等效七納米工藝,也就是智雲微電子宣傳的第一代七納米工藝。
但是……很多廠商都是用這種先進光刻機用來生產二十八納米工藝,撐死了也就探索研發二十二納米工藝而已,距離十四納米工藝還早着呢。
菜刀再好,廚子本身的廚藝不行也做不了一桌子好菜!
國內的其他半導體廠商,都是做中低端半導體制造爲主,有點野心做先進工藝的只有中芯了。
他們和智雲微電子的技術差距太大了!
人家智雲微電子,都已經量產第二代七納米工藝,甚至準備着對等效五納米工藝進行技術驗證了。
也展開了對EUV光刻機雙重曝光的等效三納米工藝的技術開發工作。
智雲微電子,玩的就是最頂級的工藝技術,和臺積電,四星,英特爾這三家正面競爭。
和國內其他半導體廠商區別很大的。
這樣的智雲微電子,對EUV光刻機的需求量也非常大,現在的海灣科技的EUV光刻機產能,都還不夠供應智雲微電子的呢。
但是EUV光刻機的產能不足,一時半會的也沒有太好的解決辦法,只能逐步提升產能。
希望明年能夠把產能再上一個臺階,不影響到智雲微電子的7/5納米工藝節點的產能擴充!
更不要影響到智雲集團的AI/APO系列服務器GPU核心以及S系列手機SOC的生產!
這兩樣產品關係重大,不容有失!