第347章 半導體產業會議

六月二十六日,徐申學視察了海灣科技,看到了已經處於量產階段的HDUV-600型光刻機。

當天晚上,海灣科技也在官網上首次公開了新一代DUV浸潤式光刻機HDUV-600進入量產的消息。

並公佈了該型光刻機已經交付了第一臺給智雲微電子,將會用於最先進的等效七納米工藝。

這也是海灣科技首次對外公佈該型光刻機的消息,包括一些詳細的技術參數。

這個消息也引來了媒體、業內人士甚至普通人的諸多關注。

當天晚上,七點半新聞重點報告了該消息:本臺記者消息,我國先進半導體裝備企業海灣科技有限公司已經完成了最新一代DUV浸潤式光刻機的研發工作。

新型的HDUV-600型光刻機已經達到國際領先水平,填補了我國尖端半導體裝備領域的空白,有力促進了我國半導體制造行業的發展。

海灣科技負責人王道林表示,HDUV-600光刻機的各項技術參數已經達到國際領先水平,乃是當下最先進的光刻機,可以用來製造最低七納米工藝的芯片

一項設備的研發成功,能夠做到上七點半新聞報道的程度,那可不容易,很少有設備能夠做到這種程度的。

但是光刻機卻是可以!

實際上,這不是海灣科技第一次上七點半新聞,實際上之前在HDUV-400光刻機,也就是第一代DUV浸潤式光刻機研發成功後,就已經上過七點半新聞了,而當時的報道時長更長,更重視,還伴隨着重要人員的視察……

當時電視報道畫面,徐申學都只能站在一旁擔任解說,爲一羣來賓介紹海灣科技的HDUV-400型光刻機,陳述該型光刻機的重要歷史意義以及現實意義。

現在報道HDUV-600型光刻機的待遇,說實話都差了點……不過好歹也是關鍵技術突破,所以常規報道還是會有的。

HDUV-600型研發成功並交付量產,這讓國內很多人,尤其是一些自詡業內人士都感嘆:是我太保守了。

前幾年海灣科技搞出來HDUV-400型號光刻機的時候,也引起了一片輿論的狂歡,不少業內人士也積極參與討論。

當時也有相關的探討,那就是:

海灣科技的光刻機,什麼時候才能夠追上ASML的水準。

畢竟當時的HDUV-400光刻機,其性能也就大概和NXT-1950相當。

而NXT1950出現的時候,那已經是2008年的事了,而該款光刻機也是推動半導體的芯片工藝從以往的六十五納米,下探到32/28納米工藝的核心設備。

或者說,正是因爲有了這款光刻機,才讓32/28工藝具備了大規模量產的可行性。

海灣科技可是花了好多年才弄出來了核心性能相當,但是生產效率還差一些的HDUV-400型光刻機……但是,這款光刻機歷史意義重大,因爲該款光刻機的出現,意味着海灣科技突破了一系列DUV浸潤式光刻機的關鍵技術。

當時,人們所暢想的是,海灣科技繼續努力,爭取三年一個臺階,在解決28納米工藝之後,三年內解決可以進行雙重曝光,能夠把工藝下探到10-22納米工藝的光刻機。

至於更進一步,甚至能夠進行四重曝光的光刻機,樂觀估計,五年內能夠解決就是巨大的勝利。

但是讓人沒有想到的是,海灣科技在突破了DUV浸潤式光刻機的關鍵技術後,在小型號的快速迭代上進展迅速,幾乎一年一個臺階。

去年推出HDUV-500型光刻機,把套刻精度做到了三點五納米,實現了雙重曝光的基本需求,可以用來做十四納米工藝的芯片,一開始的性能上基本和NXT1965相當,但是不太成熟。

後來海灣科技推出了升級型號HDUV-500A,雖然工作臺產能一樣,不過性能更好,更穩定,這款光刻機的性能除了產能低一些,其他性能指標基本上和NXT1970持平。

而智雲微電子以及隔壁的中芯,還有國內其他一些芯片廠商大規模採購的海灣科技的先進光刻機,其實都不是HDUV-500型號,而是HDUV-500A型。

去年搞出來500型號就已經夠誇張的了,結果海灣科技愣是在今年六月份的時候,就交付了更新一代的HDUV-600型,把套刻精度直接拉到了二點五納米的水準。

這一型號的核心性能水準,已經和NXT1980相當了……雖然還是有着老毛病,因爲工作臺不太行,所以生產效率低,後續的維護也會比較麻煩,但是還是太嚇人了。

而要知道,雖然去年ASML就已經搞出來了NXT1980光刻機,但實際上大規模出貨也是在今年年初而已。

而海灣科技的同級別光刻機大規模出貨,則是遲了半年左右!

這意味着,雙方之間的差距從之前的十多年,再到四五年,然後又縮小到了現在的半年。

這一系列的技術進步速度,讓很多人都感覺到不可思議。

別說外人不信了,自己人都不信……太尼瑪誇張了。

因此很多人也懷疑,海灣科技是不是抄襲了ASML的技術……還別說,他們沒懷疑錯,海灣科技還真就直接對着ASML的光刻機抄。

抄就抄了,也沒啥好丟人的,畢竟技術路線就那麼幾條,總不能人家在前頭走過的路,海灣科技就不能走了啊。

徐申學也好,海灣科技的研發人員也好,從不避諱這些,能抄就抄,抄不了硬抄……銀河安保那邊每年都送回來不少技術資料呢,這些技術資料不少都是帶着血的,你說不抄就不抄啊?

再者光刻機這東西,原理其實全世界都知道,甚至詳細結構的示意圖這些都能直接在互聯網上搜索到。

但是知道原理,知道結構的人多了去,然而能夠真正做出來這種級別光刻機的廠商,目前只有兩家:ASML以及海灣科技。

這種級別的東西,把所有詳細設計圖全部送給你抄,還手把手教你,做不出來就是做出來,海灣科技得到EUV光源系統的完整設計資料都好幾年了,還不是沒能搞出來……

因爲難的不是光刻機的設計本身,而是各子系統!

尤其是各子系統裡的各種高精尖的零部件!

DUV光刻機裡頭的鏡片……就擺在那裡,各種技術指標全球都知道,有本事你也造一個……

全球範圍內能夠造這種鏡片的只有三家廠商:德國蔡司,尼康,仙女山控股旗下的南江科技。

南江科技的鏡片除了供給光刻機外,還供給衛星,科研設備,順帶也做民用的消費級鏡片,比如手機攝像頭的鏡片這些,乃是目前國內技術能力最頂級,全球範圍也是前三的存在。

爲什麼南江科技能做這種鏡片?因爲他們擁有多家研究機構手工定製的專項設備,比如離子束拋光機……其他企業,你連購買這些設備的途徑都沒有。

因爲這些設備根本就不是市面上的量產設備,而是屬於嚴格管控,各科研所裡折騰出來的頂級設備!

沒有一大串部門的批文,根本買不到。

HDUV-600光刻機,也算是當下最頂級的工業設備了,這玩意其實可以隨便賣,是個國內晶圓廠企業都能採購到,甚至海外晶圓廠經過批准也能購買。

但是造光刻機零配件的一些核心設備,看都不給你看……

很多東西,不是說想要抄襲都能抄襲的,想要抄襲,你也得造的出來才行……

從材料到加工,每一步都是天坑。

海灣科技的背後,是仙女山控股體系兩百多家企業,而仙女山控股體系的背後,是國內數千家企業以及一百多個研究所,數十所頂級高校……其他企業,很難搞的,沒這條件。

當然,如果是歐美系國家的企業,他們不受制裁,可以自由的獲得整個歐美日韓體系的工業成功,那麼也能夠攢出來……只不過對於歐美系的廠商而言,這麼做得不償失,得虧死他們。

光刻機市場很小的,一年也才那麼一百多億美元的市場,屬於非常小衆,且門檻極高的小衆市場。

歐美市場有了ASML在前頭攔着,尼康和佳能的生存空間極限,已經舉步維艱,此外美國英特爾,格羅方德,高通等美國半導體行業公司,一度想要在美國搞一家光刻機廠商,這個過程當年徐申學其實也有參與……爲的是給ASML使絆子。

但是後續這個計劃舉步維艱,最後英特爾等公司也是不得不放棄,轉而採取了控制ASML的方式。

而華夏這邊其實也差不多,已經有了海灣科技在前頭,國內市場基本上沒有第二家光刻機廠商生存的空間了。

所以,在這個行業裡,能抄都算是你本事……

而海灣科技,則是屬於那個能抄出來的!

————

海灣科技的HDUV-600型號光刻機量產並出貨,引起了業內人士的一些討論,也引起了一些普通人的關注。

而國內的一票晶圓廠們一個個各種資訊打探,然後下訂單,苦巴巴等着這種先進光刻機。

六月二十九日,徐申學出席了一個半導體行業會議,在會議上公式化演講一番後,就和國內的一羣半導體行業的企業老闆們坐下來簡單交流了一番。

一些半導體設計行業的老總們,則是希望獲得先進工藝的代工,比如十四納米工藝……這一工藝的產能比較緊張,畢竟大部分都需要用來滿足自產,少數剩餘產能也是被大客戶包攬,普通客戶需要排隊。

一些人就希望和徐申學這邊遊說一番,能夠儘量的拿到產能。

對此,徐申學也只能是打太極拳,畢竟這一工藝的產能非常緊俏,答應了這家,另外一家怎麼搞?

所以只能是推給智雲微電子那邊去處理,自己則是打哈哈不給什麼承諾。

而一些晶圓廠的老總們,則是需要儘快的拿到先進的HDUV-600型光刻機。

中芯,北方的華力微電子,北微等幾家國內一線的晶圓廠,都指望着用這款光刻機來突破十四納米工藝呢。

但是他們想要拿到貨,最早也要明年了。

今年有限的HDUV-600的產能,將會全部供貨給智雲微電子,用於十納米工藝以及後續七納米工藝的生產。

智雲微電子的十納米工藝已經完成了技術驗證,目前還在提升良率當中,而使用之前的HDUV-500A光刻機來做這個等效十納米工藝,也不是不能做的,但是良率太低,成本太高,商業化還是比較困難。

因此等到明年的十納米工藝正式量產,其實是會有HDUV-600型光刻機來承擔的。

此外,實際上後續擴產十四納米工藝的話,也會使用這一款光刻機,主要是產量高,性能好,綜合成本要更低一些。

因此智雲微電子,對HDUV-600型光刻機的需求量是非常大的。

這也導致國內其他晶圓廠想要獲得HDUV-600,難度還是比較大,數量也少一些。

當然,他們其實也買不起多少,因爲這款光刻機非常昂貴。

智雲微電子第一批次採購的HDUV-600光刻機,單價達到七千八百萬美元,雖然價格比ASML的NXT1980的八千多萬美元便宜一些,但也是屬於超級昂貴的設備了。

一些看似財大氣粗的國內晶圓廠,如果要下單購買這種光刻機都得勒緊褲腰帶,精打細算才行……畢竟一條產線,好歹你也得弄個四五臺這種級別的光刻機啊,這麼一來就得好幾億美元呢。

再加上搭配的同級別的頂級配套設備……比如海灣科技裡搭配推出的HSD-360型後道光刻機,這款後道光刻機也得三千多萬美元。

整條產線光是各種核心設備的採購成本,都得二十億美元起步,這還是一條產線,產能極有有限,如果要大一些的產能,搞兩條產線,三條產線,那麼投資金額基本都是六七十億美元起步。

國內的晶圓廠,其實很少能玩得轉,也就中芯勉強可以搞一搞,其他的也就是弄一臺,兩臺光刻機,先嚐個鮮,搞個測試,技術驗證這些。

然後再琢磨着怎麼湊集資金搞新的晶圓廠。

所以,對於國內的晶圓廠而言,HDUV-600型光刻機是女神,看着流口水,但是買不起。

他們更主要的目的還是HDUV-500A型光刻機,甚至是HDUV-400型號光刻機。

只不過這兩款光刻機的產能其實也有限,國內一堆晶圓廠都在下單,又有智雲微電子和中芯,還有其他幾家一線晶圓廠優先拿貨,所以普通中小晶圓廠想要及時拿貨也不容易。

海灣科技的HDUV-500A光刻機可以說物廉價美,目前售價只需要大概四千萬美元左右,也就是600型的一半多點的價格。

再加上海灣科技一向來提供打包服務,可以搭配選購各類配套的核心設備,不僅僅技術配套容易,產線能迅速運轉,而且總價還可以打個折,摸個零頭。

最關鍵的是隻要是國內廠商購買都是敞開了供貨,只是要排隊拿貨而已,不像是購買ASML的光刻機一樣,還需要各種折騰,很難獲得批准。

智雲微電子能夠從ASML裡拿到先進光科技,不代表其他國內廠商也能夠拿到新型號的光刻機……智雲微電子無視制裁,不代表制裁不存在。

此外海灣科技還能協調智雲微電子那邊給予一些成熟工藝的專利授權。

諸多情況下,海灣科技的光刻機在國內賣的還是挺好的,三個型號的ARFI光刻機都需要排隊拿貨。

而對於國內這些一線,二線晶圓廠而言,如果能弄一批HDUV-500A光刻機回去,再找智雲微電子購買一些工藝專利,其他的不好說,但是三十二納米或二十八納米工藝搞起來問題不大。

工藝技術不行,就用光刻機性能強行堆上去唄,力大出奇蹟嘛!

HDUV-500A的套刻精度可是能達到三點五納米,單次曝光分辨率能夠達到三十八納米,理論上甚至都能通過多重曝光搞等效十納米工藝的光刻機。

一個晶圓廠如果用這種光刻機都做不了二十八納米工藝,那麼還玩個啥的晶圓廠啊,回家種番薯去好了。

要知道,智雲微電子今年搞等效十納米工藝技術認證的時候,用的也就是這款光刻機。

同樣的光刻機,人家可以玩十納米,你連個二十八納米都玩不了,還那玩個啥……

不管怎麼說,因爲海灣科技的出現,再加上智雲微電子也願意放開一些成熟工藝的專利付費授權,讓其他一些晶圓廠作爲自己的附加產能。

這都導致了國內的半導體制造行業發展迅速,一些老牌晶圓廠企業開始上馬新工廠,新工藝,甚至也有一些創新公司出現,開始涉足半導體制造領域。

儘管他們涉足的都是成熟工藝,甚至是落後工藝,但是這依舊是一個非常良好的現象。

半導體領域裡,先進工藝固然好,但是成熟工藝纔是主流,哪怕十年後,130-250納米工藝都還大有市場。

55-90納米工藝還是有一定市場份額。

而28-45納米工藝的市場,依舊屬於主流市場。

因此,國內不少國內晶圓廠,瞄準的就是成熟工藝乃至落後工藝市場……主要是這兩個領域的市場,智雲微電子涉足的不多,產能極爲有限。

智雲微電子眼界高啊,一開始就奔着先進工藝去的,對成熟以及落後工藝沒怎麼搞、

這意味着給國內的芯片代工市場流出了巨大的市場空間!

智雲微電子的65納米以上工藝節點的產能,甚至都無法滿足集團內部的龐大需求,但是已經停止產能擴充!

如今智雲集團旗下的智雲半導體的諸多成熟芯片,輔助芯片的生產,都還需要找中芯,華力微這些國內晶圓廠進行代工。

順帶一提,智雲半導體以及智雲儲存這兩家芯片設計企業,不僅僅是智雲微電子的超級大客戶,同時也是國內其他幾家一線晶圓廠的大客戶!

比如中芯的重要營收來源,就是儲存芯片代工,而其最大客戶其實就是智雲儲存。

因爲智雲微電子旗下的江城半導體,產線過於先進,沒有太多成熟,落後工藝的產能,但現實裡,很多特殊領域所用的儲存芯片其實也不需要多麼先進的工藝……如此情況下,智雲儲存就會把這些成熟工藝的儲存芯片的代工生產,交給中芯去代工。

這也是很多人說的,智雲半導體再加上一個智雲儲存,直接養活了大半個國內半導體制造行業,爲國內的晶圓廠帶來了龐大的營收,豐厚的利潤,然後纔有資金考慮擴充產能,提升工藝。

這也是徐申學參加這一次半導體行業會議的原因,因爲半導體制造行業的總體規模太大了,光靠智雲微電子一家是很難搞的。

智雲微電子始終瞄準的都是先進工藝,玩的是十四納米,十納米,七納米,甚至是未來的五納米,三納米,已經沒有太大的精力去擴充成熟工藝的產能,甚至連28-45納米工藝的產能經過短期擴充後,後續都不打算擴充了。

至於55納米以上工藝,現在更是連產能擴充計劃都沒有了。

但是,國內的電子消費產業以及其他個行業,對28納米工藝以上,甚至對55納米工藝以上的芯片數量需求,日漸增加,這就需要其他晶圓廠來填補這個缺口。

畢竟,國內的整體芯片產能需求,保守估計也是月產一千萬片以上,但是現在才幾百萬片月產能而已,還有巨大的增量空間。

至於先進工藝,才那麼幾十萬片的產能,對於整個芯片行業動不動上千萬片的巨大產能,比例可以說小的可憐。

但是晶圓廠投資實在太大了,光靠徐申學自己搞,得搞到猴年馬月去。

所以徐申學還是非常希望,國內的其他晶圓廠能夠積極進取,承擔起來成熟工藝以及落後工藝的產能擴充重任的。

只要他們去做,那麼徐申學就給專利授權,就賣光刻機爲核心的全套設備,順帶都還能給一些訂單扶持。

他們要做的,就是直接去尋求資金……

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